К содержимому

Оборудование / Satisloh

1200-PO

Высокопроизводительная PVD-установка для напыления тонкоплёночных покрытий на оптику из стекла, полимеров и кристаллов; время цикла от 20 минут.

Цена по запросу

Запросить КП
Консультация по модели+7 343 351-08-07zakaz@sales-cncoptics.ru

Назначение

1200-PO — установка вакуумного напыления (PVD, термическое испарение) для крупных производств: тонкоплёночные покрытия наносятся на оптику из стекла, полимеров, кристаллических материалов и металла. Установка рассчитана на круглосуточную работу, время цикла — от 20 минут (от загрузки до выгрузки), ёмкость — до 209 линз Ø 70 мм.

  • Держатели: купол (секторный или без колец), двухосная планетарная система; другие варианты по запросу.
  • Вакуум: высоковакуумный насос диффузионный или криогенный; предварительная откачка роторным и Roots-насосом или сухим насосом.
  • Электронно-лучевые пушки нескольких типоразмеров, наибольшая — 5CK XL; термические источники малой или большой мощности для металлов.
  • Ионные источники: End Hall или Hollow Cathode (IAD), ВЧ-плазма (PIAD, PECVD).
  • Нагрев подложек: calrod, ИК-кварцевые лампы или ИК-нагреватель за маской.
  • Подключение к MES-360: автоматическая отчётность по производительности и KPI.

При запросе уточните материалы и размеры деталей, тип покрытий, держатели и состав источников.

Технические характеристики

Технические характеристики: 1200-PO
Ёмкостьдо 209 линз Ø 70 мм (купол без колец)
Вакуумная системавысоковакуумный насос по выбору: диффузионный или криогенный; предварительная откачка: роторный и Roots или сухой насос
Время циклаот 20 мин (от загрузки до выгрузки); установка рассчитана на круглосуточную работу
Габариты (Ш×Г×В)2171 × 3145 × 2440 мм
Интеграцияподключение к MES-360 (автоматическая отчётность по производительности и KPI); MES-360 Lite в комплекте
Ионные источникиEnd Hall или Hollow Cathode (IAD); RF-плазма (PIAD или PECVD)
Источник напыленияэлектронно-лучевые пушки нескольких типоразмеров (наибольшая — 5CK XL) с разными конфигурациями карманов и защитой от перекрёстного загрязнения; термические источники малой или большой мощности для металлов
Масса3637 кгприблизительно
Материалыстекло, полимеры, кристаллическая и металлическая оптика
Нагрев подложекCalrod, ИК-кварцевые лампы или ИК-нагреватель за маской
Равномерность покрытия≤ 1 % по физической толщине (двухосная планетарная система)
Системы удержаниякупол (секторный или без колец), двухосная планетарная система; другие варианты по запросу

По данным производителя. Конфигурацию уточняйте при запросе.

Похожие модели

  • Установка нанесения тонкоплёночных покрытий 1200-PO-duo, вид спереди

    Оборудование

    Satisloh

    1200-PO-duo

    Установка многослойных тонкоплёночных покрытий для прецизионной оптики: два электронно-лучевых испарителя, оптический мониторинг, планетарные держатели.

  • Установка 1500-PO для серийного нанесения тонкоплёночных покрытий, вид спереди

    Оборудование

    Satisloh

    1500-PO

    PVD-установка для серийного нанесения тонкоплёночных покрытий на оптические элементы из полимеров и стекла.

  • Компактная установка 280-PO для нанесения тонкоплёночных покрытий, вид спереди

    Оборудование

    Satisloh

    280-PO

    Компактная PVD-установка для нанесения тонкоплёночных покрытий: мелкосерийное производство линз, НИОКР, прототипирование; до 30 линз Ø 72 мм.