К содержимому

Оборудование / Satisloh

1500-PO

PVD-установка для серийного нанесения тонкоплёночных покрытий на оптические элементы из полимеров и стекла.

Цена по запросу

Запросить КП
Консультация по модели+7 343 351-08-07zakaz@sales-cncoptics.ru

Назначение

1500-PO рассчитана на круглосуточное серийное производство и применяется для нанесения тонкоплёночных покрытий (PVD) на прецизионную оптику, в первую очередь полимерную. Основные материалы — полимеры и стекло; в брошюре производителя указана также ИК-оптика, другие материалы — по запросу. Ёмкость — до 317 линз Ø 70 мм.

  • Вакуум: быстрый диффузионный насос и увеличенная ловушка Meissner сокращают время откачки и стабилизируют условия процесса; сухая группа предварительной откачки — опция.
  • Держатели: купол секторный или без колец; другие варианты по запросу.
  • Один электронно-лучевой источник (EBG) упрощённой конструкции (на 50 % меньше деталей) и термические резистивные источники.
  • Нагрев подложек: высокотемпературный (до 300 °C) или среднетемпературный (до 150 °C) вариант.
  • Контроль толщины: две кварцевые головки с заслонкой, опционально индексатор на 12 датчиков.
  • Энергосберегающий комплект: опция.
  • Полная совместимость с MES-360; программа HMI с журналом данных процесса.

При запросе уточните материалы и размеры деталей, загрузку, тип держателей и потребность в энергосберегающем комплекте.

Технические характеристики

Технические характеристики: 1500-PO
Ёмкостьдо 317 линз Ø 70 мм
Вакуумная системадиффузионный насос (скорость откачки 30 000 л/с) и увеличенная ловушка Meissner; сухая группа предварительной откачки: опция
Габариты (Ш×Г×В)2384 × 3295 × 2765 мм
Измерениестандартно две кварцевые головки с заслонкой; опционально индексатор на 12 кварцевых датчиков
Интеграцияполная совместимость с MES-360
Источник напыленияодин электронно-лучевой источник (EBG) и термические резистивные источники
Масса3580 кгприблизительно
Материалыполимеры, стекло, ИК-оптика; другие материалы по запросу
Нагрев подложеквысокотемпературный (до 300 °C) или среднетемпературный (до 150 °C) нагреватель на выбор
Опцииэнергосберегающий комплект; сухая группа предварительной откачки
Системы удержаниякупол (секторный или без колец); другие варианты по запросу

По данным производителя. Конфигурацию уточняйте при запросе.

Похожие модели

  • Установка 1200-PO для нанесения тонкоплёночных покрытий, вид спереди

    Оборудование

    Satisloh

    1200-PO

    Высокопроизводительная PVD-установка для напыления тонкоплёночных покрытий на оптику из стекла, полимеров и кристаллов; время цикла от 20 минут.

  • Установка нанесения тонкоплёночных покрытий 1200-PO-duo, вид спереди

    Оборудование

    Satisloh

    1200-PO-duo

    Установка многослойных тонкоплёночных покрытий для прецизионной оптики: два электронно-лучевых испарителя, оптический мониторинг, планетарные держатели.

  • Компактная установка 280-PO для нанесения тонкоплёночных покрытий, вид спереди

    Оборудование

    Satisloh

    280-PO

    Компактная PVD-установка для нанесения тонкоплёночных покрытий: мелкосерийное производство линз, НИОКР, прототипирование; до 30 линз Ø 72 мм.