К содержимому

Оборудование / Satisloh

1200-PO-duo

Установка многослойных тонкоплёночных покрытий для прецизионной оптики: два электронно-лучевых испарителя, оптический мониторинг, планетарные держатели.

Цена по запросу

Запросить КП
Консультация по модели+7 343 351-08-07zakaz@sales-cncoptics.ru

Назначение

1200-PO-duo наносит многослойные тонкоплёночные покрытия на стекло, полимеры и кристаллическую оптику. Состав камеры подбирается под сложность покрытия, чувствительность материала к нагреву и нужную производительность.

  • Два электронно-лучевых испарителя и мощные термические источники для сложных многослойных покрытий.
  • Оптический мониторинг толщины слоёв (пропускание или отражение, 300–2400 нм) и до 6 кварцевых датчиков; для каждого слоя можно выбрать оптический или кварцевый контроль.
  • Планетарная система из пяти планет Ø 15 дюймов (383 мм) или секторный купол на 168 позиций для подложек Ø 70 мм.
  • Планетарный нагреватель: 300 °C на подложках за 15 минут, пиковая мощность 6,4 кВт.
  • ВЧ-плазменный источник 5 кВт для уплотнения слоёв с малым нагревом подложек.
  • MES-360 Lite в комплекте: ежедневная отчётность по KPI.

При запросе укажите материалы и размеры деталей, спектральные требования к покрытию, вариант держателей и необходимость плазменного источника и оптического мониторинга.

Технические характеристики

Технические характеристики: 1200-PO-duo
Вакуумная системавысоковакуумный насос — криогенный (эффективная скорость откачки в камере ≈ 4800 л/с) или диффузионный; форвакуумная группа (возможно сухое исполнение); ловушка Meissner
Габариты (Ш×Г×В)2171 × 3145 × 2440 мм
Измерениеоптический мониторинг на пропускание или отражение, 300–2400 нм; до 6 кварцевых датчиков; автоматическая смена тестовых стёкол на 10 позиций
ИнтеграцияMES-360 Lite в комплекте (ежедневные отчёты по KPI)
Ионные источникиВЧ-плазменный источник 5 кВт (CCR-Copra IS400), стандартно Ar и O₂, возможны другие газы; нагрев подложек от плазмы менее 2 °C при предочистке и менее 50 °C при максимальной мощности
Источник напылениядве электронно-лучевые пушки: однокарманная 350 см³ с непрерывным вращением и многокарманная 3CK (8 карманов до 28 см³ или 4 кармана до 60 см³); четыре мощных термических источника с током до 600 А
Материалыпластик, стекло и кристаллическая оптика
Нагрев подложек300 °C на подложках за 15 мин, пиковая мощность нагрева 6,4 кВт
Равномерность покрытияотклонение физической толщины менее 1 % на планете Ø 383 мм (15 дюймов)
Системы удержанияпланетарная система: 5 планет Ø 15 дюймов (383 мм); секторный купол: 168 позиций для подложек Ø 70 мм (с кольцами), стандарт — 6 стальных сегментов, индивидуальные сегменты (материал, число позиций, без колец) по запросу

По данным производителя. Конфигурацию уточняйте при запросе.

Похожие модели

  • Установка 1200-PO для нанесения тонкоплёночных покрытий, вид спереди

    Оборудование

    Satisloh

    1200-PO

    Высокопроизводительная PVD-установка для напыления тонкоплёночных покрытий на оптику из стекла, полимеров и кристаллов; время цикла от 20 минут.

  • Установка 1500-PO для серийного нанесения тонкоплёночных покрытий, вид спереди

    Оборудование

    Satisloh

    1500-PO

    PVD-установка для серийного нанесения тонкоплёночных покрытий на оптические элементы из полимеров и стекла.

  • Компактная установка 280-PO для нанесения тонкоплёночных покрытий, вид спереди

    Оборудование

    Satisloh

    280-PO

    Компактная PVD-установка для нанесения тонкоплёночных покрытий: мелкосерийное производство линз, НИОКР, прототипирование; до 30 линз Ø 72 мм.