Оборудование
Satisloh1200-PO
Высокопроизводительная PVD-установка для напыления тонкоплёночных покрытий на оптику из стекла, полимеров и кристаллов; время цикла от 20 минут.
Оборудование / Satisloh
380-PO
PVD-установка среднего размера для вакуумного напыления тонкоплёночных покрытий на оптические линзы.
Цена по запросу
Назначение
380-PO — вакуумная установка (PVD) для нанесения тонкоплёночных покрытий на оптику малого и среднего размера. Материалы — полимеры, стекло и ИК-оптика; ёмкость — до 74 линз Ø 70 мм с полным куполом. По данным производителя, сухая откачка (опция) делает установку пригодной и для UV/DUV-покрытий.
- Держатели: полный купол, планетарная система или трёхсекторный купол; система переворота (flip-over) — по запросу.
- Ловушка Meissner для откачки водяного пара сокращает время цикла; откачка: форвакуумный и турбомолекулярный (1200 л/с) насосы.
- Нагрев подложек: высокотемпературный (до 300 °C) или среднетемпературный (до 150 °C) вариант.
- Источники напыления: электронно-лучевой источник (EBG) с ионным ассистированием (IAD) и термические резистивные источники.
- Ионная пушка (Ion Gun) повышенной мощности: опция для покрытий с низкими напряжениями и без спектрального сдвига.
- Сенсорное управление, программа HMI для настройки рецептов; стандартно один кварцевый датчик, опционально индексатор на 12 позиций.
При запросе уточните материалы и размеры деталей, тип держателя, режим подогрева и потребность в Ion Gun.
Технические характеристики
| Ёмкость | до 74 линз Ø 70 мм (с полным куполом) |
|---|---|
| Вакуумная система | форвакуумный и турбомолекулярный (1200 л/с) насосы; ловушка Meissner для откачки водяного пара; сухая откачка: опция, подходит для UV- и DUV-покрытий |
| Габариты (Ш×Г×В) | 1609 × 2157 × 2195 мм |
| Измерение | стандартно одна кварцевая головка; опционально индексатор на 12 кварцевых датчиков |
| Ионные источники | ионная пушка повышенной мощности: опция |
| Источник напыления | один электронно-лучевой источник (EBG) с ионным ассистированием (IAD) и термические резистивные источники |
| Масса | 1570 кгприблизительно |
| Материалы | полимеры, стекло и ИК-оптика |
| Нагрев подложек | высокотемпературный (до 300 °C) или среднетемпературный (до 150 °C) нагреватель на выбор |
| Опции | печь дегазации для полимерной оптики; системы ультразвуковой очистки; технологии нанесения покрытий и расходные материалы |
| Системы удержания | полный купол, планетарная система или трёхсекторный купол |
По данным производителя. Конфигурацию уточняйте при запросе.
Похожие модели
Оборудование
Satisloh1200-PO-duo
Установка многослойных тонкоплёночных покрытий для прецизионной оптики: два электронно-лучевых испарителя, оптический мониторинг, планетарные держатели.
Оборудование
Satisloh1500-PO
PVD-установка для серийного нанесения тонкоплёночных покрытий на оптические элементы из полимеров и стекла.